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通過重復利用黑硅清洗液對硅片進行制絨的方法

889 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 03:35:11

本發(fā)明公開了一種通過重復利用黑硅清洗液對硅片進行制絨的方法，包括：(1)將硅片浸入包含0.01?200mmol/L的金屬離子鹽、1?10mol/L的氫氟酸和0.1?10mol/L的黑硅制絨液中進行制絨；(2)用去離子水清洗制絨后的硅片，吹干；(3)采用20?80wt％的硝酸溶液清洗步驟(2)中得到的吹干后的硅片以去除沉積在硅片表面上的金屬顆粒；(4)用去離子水清洗黑硅清洗液清洗后的硅片，吹干，制得具有絨面結構的硅片；和(5)重復步驟(1)至(4)，直至黑硅清洗液達到使用壽命，以達到使用壽命的黑硅清洗液為原料配制黑硅制絨液。本發(fā)明方法可以簡單、有效地實現黑硅清洗液特別是其中的金屬離子的重復利用，降低了制絨成本和廢水處理成本，綠色環(huán)保。

聲明：

“通過重復利用黑硅清洗液對硅片進行制絨的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)