本發(fā)明是一種吹氣腐蝕機(jī)及腐蝕、清洗方法,其特征是進(jìn)氣閥與進(jìn)氣管相連,進(jìn)氣管的一端與盤管筒相接,另一端與A氣室連接;加工時(shí)將晶片置于吹氣瓶底部,并加設(shè)加蓋蒙網(wǎng),吹氣瓶安裝在A氣室上,吹氣瓶與腐蝕溶液槽中的A氣室通過快速密封螺紋連接;凈水機(jī)終端通過進(jìn)水閥與進(jìn)水管一端連接,進(jìn)水管的另一端與B氣室相連,廢水管接純凈水槽上的溢水孔,水蒸氣管接抽風(fēng)孔,監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)置在控制柜上。優(yōu)點(diǎn):在腐蝕作業(yè)和清洗作業(yè)時(shí),壓縮空氣經(jīng)流量控制,晶片翻騰的分散游離不會(huì)產(chǎn)生疊片貼合和腐蝕痕不良品;腐蝕瓶與氣室是快速螺紋連接,安裝和拆卸操作便捷;單瓶裝片量比搖籃提高3000pcs,產(chǎn)能效率高;結(jié)構(gòu)簡單,無須伺服電機(jī)控制。
聲明:
“吹氣腐蝕機(jī)及腐蝕、清洗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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