本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑顯影廢水的處理方法,其使用RO裝置,無須用堿劑來中和RO透過水,可防止或者抑制因粘泥引起的RO膜的阻塞,且可獲得良好水質(zhì)的RO膜透過水。其無須對光致抗蝕劑顯影廢水進行pH值調(diào)整,在與陽離子交換樹脂接觸后,通過MF膜裝置等進行除濁處理,接著向逆滲透膜裝置通水,獲得膜透過水。
聲明:
“光致抗蝕劑顯影廢水的處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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