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基于鐵電鈣鈦礦PbTiO3/TiO2的快速響應(yīng)恢復(fù)型紫外光電探測(cè)器及其制備方法

757   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-02-25 02:00:05
一種基于鐵電鈣鈦礦PbTiO3/TiO2的快速響應(yīng)恢復(fù)型紫外光電探測(cè)器及其制備方法,屬于紫外光電探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。其從下到上由石英襯底、PbTiO3鐵電材料薄膜、TiO2薄膜、Au叉指電極組成,PbTiO3鐵電材料薄膜和TiO2薄膜組成PbTiO3/TiO2復(fù)合異質(zhì)結(jié)光敏感層,其厚度為200~300nm;待測(cè)的紫外光從石英襯底一側(cè)入射。本發(fā)明通過(guò)鐵電鈣鈦礦材料和傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料構(gòu)建復(fù)合異質(zhì)結(jié),鐵電材料所具有的退極化場(chǎng)可以增加電子和空穴的分離以及運(yùn)輸效率,同時(shí)能大大減弱電子空穴對(duì)在分離后產(chǎn)生的復(fù)合效應(yīng),有效提高器件內(nèi)部載流子的遷移效率,降低傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料的暗電流,并提升其響應(yīng)恢復(fù)特性。
聲明:
“基于鐵電鈣鈦礦PbTiO3/TiO2的快速響應(yīng)恢復(fù)型紫外光電探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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