本發(fā)明涉及一種具有金字塔結(jié)構(gòu)的柔性
鈣鈦礦光電探測器及其制備,制備方法包括以下步驟:1)制備具有微納正金字塔結(jié)構(gòu)的硅模板;2)采用熱壓印方式將硅模板上的微納金字塔圖案轉(zhuǎn)移到柔性基底上;3)在柔性基底上旋涂鈣鈦礦前驅(qū)體溶液,并進(jìn)行烘干,得到帶有鈣鈦礦結(jié)晶的柔性基底;4)在帶有鈣鈦礦結(jié)晶的柔性基底上磁控濺射電極,即得到具有金字塔結(jié)構(gòu)的柔性鈣鈦礦光電探測器。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明結(jié)合了微納結(jié)構(gòu)、鈣鈦礦、柔性光電探測器等幾大熱點(diǎn)研究領(lǐng)域,將微納金字塔結(jié)構(gòu)應(yīng)用于新興的柔性鈣鈦礦光電探測器中,以增強(qiáng)其光電探測性能,且成本低廉,制備過程簡便。
聲明:
“具有金字塔結(jié)構(gòu)的柔性鈣鈦礦光電探測器及其制備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)