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基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器及其制備方法

903   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-02-23 20:20:25
本發(fā)明涉及光電探測器技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器,包括鈣鈦礦晶圓以及蒸鍍在所述鈣鈦礦晶圓兩端的金電極;其中,所述鈣鈦礦晶圓采用MA3Bi2I9多晶晶圓,厚度為0.6~1mm。本發(fā)明還提供了一種基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器的制備方法。本發(fā)明的優(yōu)點在于:基于MA3Bi2I9鈣鈦礦晶圓器件,不僅制備簡單、材料利用率高,還具有較高的電阻率、較高的載流子遷移率,使得制備的晶圓X射線探測器具有較高的靈敏度和極低的X射線檢測下限。
聲明:
“基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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