本發(fā)明是提供一種修正的溶膠-凝膠技術(shù),通過 不同技術(shù)控制鋯鈦酸鉛鐵電薄膜的取向程度,探索制備具有高 度擇優(yōu)取向
鈣鈦礦結(jié)構(gòu)鐵電薄膜的方法。本發(fā)明:(1)通過不同 的預(yù)處理方法,即常規(guī)熱處理和快速熱處理,可以得到程度不 同的擇優(yōu)取向。(2)選用不同工藝制備的Pt/Ti底電極,即直流 濺射和真空蒸發(fā),可以得到程度不同的擇優(yōu)取向。(3)采用不同 的襯底結(jié)構(gòu)來控制鋯鈦酸鉛鐵電薄膜的擇優(yōu)取向方向。即在 Pt(111)/Ti/SiO2/Si襯底上的鋯鈦 酸鉛鐵電薄膜以(110)方向擇優(yōu)取向;在LNO(100)/Si和 LNO/Pt/Ti/SiO2/Si襯底上的鐵電 薄膜以(100)方向擇優(yōu)取向。
聲明:
“控制鋯鈦酸鉛鐵電薄膜擇優(yōu)取向的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)