熱等靜壓生產(chǎn)平板顯示器用鉬合金濺射靶材的方法,鉬材經(jīng)過適當(dāng)?shù)?000℃~1500℃,100~200MPa熱等靜壓處理,在致密度提高的基礎(chǔ)上,可獲得細(xì)小均勻的晶粒度并且強(qiáng)度和韌性均得到提高。在高溫高壓的共同作用下,被加工件的各向均衡受壓,靶材的致密度高、均勻性好、性能優(yōu)異,同時具有生產(chǎn)周期短、工序少、能耗低、后期加工材料損耗小等特點(diǎn)。
聲明:
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