本發(fā)明提供一種球形磨料、制備方法、用途及包含其的藍(lán)寶石研磨液。所述球形磨料由金剛石微粉、
氧化鋁粉和氧化硅粉混合燒結(jié)而成,將金剛石微粉固結(jié)在球形磨料中,增加金剛石切削銳角與藍(lán)寶石晶片接觸面積。本發(fā)明還公開(kāi)了一種藍(lán)寶石研磨液,包括上述球形磨料、金剛石磨料、懸浮劑、潤(rùn)滑劑、pH調(diào)節(jié)劑、潤(rùn)濕劑、分散劑、防銹劑和水。本發(fā)明藍(lán)寶石研磨液,能在保證晶片表面質(zhì)量的前提下,提高研磨效率,降低加工成本。采用本發(fā)明藍(lán)寶石研磨液研磨得到的藍(lán)寶石襯底表面粗糙度低、平整度好、無(wú)明顯劃痕。本發(fā)明藍(lán)寶石研磨液具有非常良好的應(yīng)用前景和大規(guī)模工業(yè)化推廣潛力。
聲明:
“球形磨料、制備方法、用途及包含其的藍(lán)寶石研磨液” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)