本發(fā)明涉一種釹鐵硼重
稀土滲透方法及其裝置,包括主體、中頻電源、冷卻液循環(huán)裝置、補(bǔ)氣裝置與抽真空裝置,主體為密閉結(jié)構(gòu),中頻電源固定在主體外部,中頻電源通過(guò)電源線(xiàn)分別連接有左銅極板和右銅極板,基板安裝在主體內(nèi)部,基板接地,冷卻液循環(huán)裝置、補(bǔ)氣裝置和抽真空裝置均固定在主體外部,并通過(guò)各自的管路與主體連接,左靶材固定在左銅極板上,右靶材固定在右銅極板上。本發(fā)明采用中頻孿生靶濺射技術(shù),沉積速率非???,是直流單靶的數(shù)倍;膜內(nèi)缺陷低,本發(fā)明裝置采用滾筒式結(jié)構(gòu),可以讓工件表面沉積的鍍膜更均勻,多靶頭以及可旋轉(zhuǎn)靶頭的設(shè)計(jì),不但可以充分利用裝置內(nèi)部空間,還可實(shí)現(xiàn)靶源的快速切換,減少靶材的更換頻率,提高生產(chǎn)效率。
聲明:
“釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)