亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 真空冶金技術(shù)

> 釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置

釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置

723   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:01:01
本發(fā)明涉一種釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置,包括主體、中頻電源、冷卻液循環(huán)裝置、補(bǔ)氣裝置與抽真空裝置,主體為密閉結(jié)構(gòu),中頻電源固定在主體外部,中頻電源通過(guò)電源線(xiàn)分別連接有左銅極板和右銅極板,基板安裝在主體內(nèi)部,基板接地,冷卻液循環(huán)裝置、補(bǔ)氣裝置和抽真空裝置均固定在主體外部,并通過(guò)各自的管路與主體連接,左靶材固定在左銅極板上,右靶材固定在右銅極板上。本發(fā)明采用中頻孿生靶濺射技術(shù),沉積速率非???,是直流單靶的數(shù)倍;膜內(nèi)缺陷低,本發(fā)明裝置采用滾筒式結(jié)構(gòu),可以讓工件表面沉積的鍍膜更均勻,多靶頭以及可旋轉(zhuǎn)靶頭的設(shè)計(jì),不但可以充分利用裝置內(nèi)部空間,還可實(shí)現(xiàn)靶源的快速切換,減少靶材的更換頻率,提高生產(chǎn)效率。
聲明:
“釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
真空冶金
全國(guó)熱門(mén)有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門(mén)技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線(xiàn)客服

公眾號(hào)

電話(huà)

頂部
咨詢(xún)電話(huà):
010-88793500-807
專(zhuān)利人/作者信息登記