本發(fā)明提出了一種
稀土金屬旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法,該稀土金屬選擇靶材的制備包括:S1、制備平均粒徑D
50為10?80μm的稀土金屬粉末;S2、將稀土金屬粉末裝入模具中;S3、將模具放入冷等靜壓機(jī)內(nèi)壓制成型,得到素胚;S4、將素胚放入燒結(jié)爐中燒結(jié),燒結(jié)溫度為800?1400℃,保溫時(shí)間10?80小時(shí);S5、對(duì)燒結(jié)好的靶材毛坯進(jìn)行機(jī)加工成所需要的尺寸和精度,加工后的靶材綁定在金屬圓管上得到稀土金屬旋轉(zhuǎn)靶材。本發(fā)明公開的稀土金屬旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法工藝簡(jiǎn)單、耗能少、易于規(guī)?;a(chǎn),制備得到的稀土旋轉(zhuǎn)靶材質(zhì)量好,具體體現(xiàn)在密度高、無裂紋孔隙、良品率高、成本低,提高釹鐵硼永磁材料的矯頑力。
聲明:
“稀土金屬旋轉(zhuǎn)靶材及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)