本發(fā)明公開(kāi)了一種基于凝膠成型的碳化硅微反應(yīng)器制備方法,其特征包括:(1)制備碳化硅濃懸浮液;(2)制備聚乙烯醇和水溶性酚醛樹(shù)脂混合膠水;(3)將混合膠水加入到碳化硅濃懸浮液中混合得到漿料;(4)將漿料倒入模具中,冷凍物理凝膠,解凍后自然干燥,放入烘箱中烘干,冷等靜壓,低溫?zé)Y(jié),酚醛樹(shù)脂固化;(5)坯體表面修形;(6)坯體排膠;(7)坯體在燒結(jié)爐中埋入硅粉進(jìn)行反應(yīng)燒結(jié);(8)燒結(jié)后,對(duì)裝配面精加工,兩塊碳化硅板高溫鍵合,制備得到碳化硅微反應(yīng)器。本發(fā)明中,通過(guò)聚乙烯醇物理凝膠固化,各組分分布均勻,引入的酚醛樹(shù)脂燒結(jié)后殘?zhí)悸蔬_(dá)到60~70%,與硅液反應(yīng)生成碳化硅,降低碳化硅中游離硅,致密性好。
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“基于凝膠成型的碳化硅微反應(yīng)器制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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