本發(fā)明公開了一種智能玻璃陽極電致變色層鍍膜材料的制備方法,使用注漿成型加真空高溫燒結(jié)的方式來制作相關(guān)靶材,藉由高溫燒結(jié)過程中真空處理及添加第二種元素在氧化鎳中,造成氧的空缺產(chǎn)生電載子移動性來提高材料的導(dǎo)電性,提高靶材均勻性及致密度,大幅降低濺鍍過程中異常電弧的產(chǎn)生,延長靶材壽命及利用率,提高濺鍍薄膜質(zhì)量及性能。濺鍍時使用脈沖DC,AC或是MF等電源可以獲得穩(wěn)定的濺鍍電弧,濺鍍過程中只需通入少量的氧氣,不易造成落塵,同時采用階段升溫燒結(jié)的工藝及在氬氣中添加其他氣體,濺鍍成膜速率可以提高5?10倍左右,并提高薄膜的平坦度及大面積的均勻度。
聲明:
“智能玻璃陽極電致變色層鍍膜材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)