本發(fā)明提供了一種釩鎢合金靶材及其制備方法與應(yīng)用,以質(zhì)量百分含量計(jì),所述釩鎢合金靶材的組分包括:鎢≥60%,余量為釩;所述制備方法包括以下步驟:(1)按照配方量混合釩粉和鎢粉,球磨后得到混合粉末;(2)將步驟(1)所得混合粉末進(jìn)行燒結(jié)溫度為1300?1700℃,壓制壓力為60?350T的真空熱壓燒結(jié)處理,得到釩鎢合金靶坯;(3)將步驟(2)所得釩鎢合金靶坯進(jìn)行機(jī)加工,得到釩鎢合金靶材;其中,步驟(2)所述真空熱壓燒結(jié)處理包括順次進(jìn)行的第一保溫處理、第二保溫處理與保溫保壓處理。所述發(fā)明通過(guò)優(yōu)化燒結(jié)工藝改善了靶材內(nèi)部組織結(jié)構(gòu),提高了靶材的純度和致密度,進(jìn)而提升了濺射穩(wěn)定性和鍍膜質(zhì)量。
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