本發(fā)明提供了一種用于裝飾鍍膜的碳化鎢靶材及其制備方法,所述制備方法包括以下步驟:(1)篩分純度≥99.98%的碳化鎢原料,得到碳化鎢粉末;(2)將步驟(1)所得碳化鎢粉末進(jìn)行燒結(jié)溫度為1800?1900℃,壓制壓力為35?45MPa的真空熱壓燒結(jié)處理,得到碳化鎢靶坯;(3)將步驟(2)所得碳化鎢靶坯進(jìn)行機加工,得到碳化鎢靶材;其中,步驟(2)所述真空熱壓燒結(jié)處理包括順次進(jìn)行的保溫處理和保溫保壓處理,且所述保溫處理的升溫過程分為至少3個升溫階段。本發(fā)明提供的制備方法精簡了工藝流程的同時提升了碳化鎢靶材及鍍膜質(zhì)量。
聲明:
“用于裝飾鍍膜的碳化鎢靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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