本實用新型為高真空機組,涉及一種以油擴(kuò)散泵為主泵的、使被抽空器件獲得高真空的設(shè)備,與有關(guān)附件構(gòu)成可進(jìn)行真空蒸鍍和濺射、真空熱處理、真空燒結(jié)和擴(kuò)散,還可應(yīng)用在實驗室及其它工業(yè)生產(chǎn)中。其特征是在高真空閥體上設(shè)有線圈,線圈內(nèi)設(shè)有芯桿;手輪上設(shè)有銷孔,芯桿的一端插接在手輪的銷孔內(nèi);線圈通過導(dǎo)線與控制箱中的繼電器連接。預(yù)抽閥和前置閥的拉桿連在一起形成聯(lián)動的拉閥。在高真空閥體與拉閥的管路上設(shè)有電離真空規(guī),在拉閥與放氣閥的管路上設(shè)有預(yù)抽熱偶真空規(guī),在拉閥與真空缸的管路上設(shè)有前置熱偶真空規(guī)。本實用新型的目的在于解決被抽真空器件漏氣時機組不能工作,必須拆卸、進(jìn)行清洗、更換擴(kuò)散泵的工作介質(zhì)等方面存在的問題。
聲明:
“高真空機組” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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