本發(fā)明公開了一種高鈧含量鋁鈧合金靶材及其制備方法。其中方法包括:選取金屬鋁和金屬鈧,并配料;將金屬鈧?cè)刍缓髮⒔饘黉X分多次逐步加入到金屬鈧中熔煉,多次熔煉后冷卻得到鋁鈧合金;將所述鋁鈧合金進行球磨,真空干燥得到合金粉,然后經(jīng)預(yù)壓制和真空燒結(jié)得到鋁鈧合金靶坯;將得到的鋁鈧合金靶坯進行熱變形加工,得到鋁鈧合金靶材,所述熱變形加工包括熱鍛、熱軋、以及精加工。采用本發(fā)明使得鋁鈧合金靶材組織和化學(xué)成分更均勻,相對密度更高,達到99.0%以上,晶粒尺寸更細小,延展性更高;采用本發(fā)明還減少了縮孔、疏松缺陷;節(jié)省了原料成本;解決了合金脆性大,不能加工靶材的難題;可滿足大規(guī)模集成電路用配線材料的需求。
聲明:
“高鈧含量鋁鈧合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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