本發(fā)明涉及一種用于真空結(jié)晶爐中保溫組件的材料的生產(chǎn)方法。主要是為解決現(xiàn)有的由鉬或石墨氈制成的保溫組件對結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染,影響晶體質(zhì)量等問題而發(fā)明的。方法是將生產(chǎn)態(tài)粒度為2.55um,研磨態(tài)粒度為2.3um的W顆粒和生產(chǎn)態(tài)粒度為2.65um,研磨態(tài)粒度為2.4um的Mo顆?;旌?,其中W和Mo的重量相等,混合后再加入占W顆粒和Mo顆粒總重量0.2%-0.5%的CeO,和占W顆粒和Mo顆粒總重量0.05%-0.1%的ZrH2,混合均勻后經(jīng)冷等靜壓機壓制成型,最后在溫度為2350℃以上的高溫真空燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié)。優(yōu)點是不會對真空結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染,不影響晶體質(zhì)量。
聲明:
“用于真空結(jié)晶爐保溫組件的材料的生產(chǎn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)