本發(fā)明公開(kāi)了一種高純、高致密、大尺寸鉬鈦合金濺射靶材的制備方法,包括如下步驟:(1)混料:選擇鉬和氫化鈦?zhàn)鳛榉垠w原料,兩種粉體在氬氣保護(hù)氣氛中進(jìn)行混合得到合金粉末;(2)壓制成型:將混合好的粉體原料裝入膠套模具中進(jìn)行冷等靜壓處理;(3)燒結(jié):將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行第一階段脫氫燒結(jié)和第二階段致密化燒結(jié),最終得到燒結(jié)毛坯;(4)軋制;(5)退火;(6)機(jī)械加工:將退火之后的靶材毛坯進(jìn)行機(jī)械加工得到鉬鈦合金濺射靶材產(chǎn)品。本發(fā)明生產(chǎn)的鉬鈦合金濺射靶材成分均勻、無(wú)偏析、晶粒細(xì)小、純度高、致密性好。
聲明:
“高純、高致密、大尺寸鉬鈦合金濺射靶材的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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