本發(fā)明公開了一種生產(chǎn)低氧鉬鈮合金靶材的方法,包括以下步驟:1、將鉬粉放在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行熱處理;2、將鈮金屬粉與堿金屬鹵化物MX均勻混合得到混合粉;3、將步驟1中得到的鉬粉與步驟2得到的混合粉放入V型混料機(jī)中混合,放入膠套后通過冷等靜壓壓制成型;4、將壓錠放在真空?氫氣兩用燒結(jié)爐中進(jìn)行熱處理。本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術(shù),該方法除氧成本低,效果好,所得鉬鈮合金靶材雜質(zhì)、氧含量低,性能優(yōu)異。
聲明:
“低氧鉬鈮合金靶材的生產(chǎn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)