本發(fā)明公開了一種反應燒結碳化硅陶瓷均溫板,其制造方法包括以下步驟:制備粉料,將碳與碳化硅混合,加入硬脂酸鋅、聚乙烯醇噴霧造粒,得到粉料;壓制坯塊;真空燒結,在坯塊表面放置硅粉,進行反應燒結;氧化燒結,將得到的均溫板進行氧化燒結。本發(fā)明適用不同厚度均溫板外形結構形式的制作,材質致密、尺寸精確、成品率高。本發(fā)明制作的均溫板具有良好的熱傳導性能、較高的高溫強度和低熱膨脹系數(shù),良好的高溫抗腐蝕性能,尤其是通過,超過正常反應溫度的1800~1900℃燒結,使?jié)B硅反應更加充分,保證了材質的致密,避免了產品的開裂;另外,通過高溫氧化燒結,可檢驗產品高溫狀態(tài)下的應力變化,杜絕應用過程中的質量問題發(fā)生,降低應用成本。
聲明:
“反應燒結碳化硅陶瓷均溫板” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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