一種碳化硅陶瓷材料的壓注成型工藝,按重量百分比取細度為W10的碳化硅微粉80~90%、碳墨10~20%作為配料;經(jīng)球磨、過篩、和蠟攪拌后在熱壓注機中一次成型為蠟坯,然后坯裝入匣缽內(nèi),以生
氧化鋁粉作吸附劑,放入低溫排蠟爐內(nèi)緩慢升溫進行排蠟,當坯體中的石蠟排出70%~85%時,將匣缽卸下冷卻至室溫,把坯體取出;接著,將排蠟后的碳化硅毛坯與硅片均勻地放置在坩堝內(nèi),裝入真空燒結(jié)爐進行燒結(jié),開始以每小時300℃的升溫速度均勻升溫,升至1200℃時,升溫速度改為每小時200℃,當溫度升至1600℃時,保溫3~4小時。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明配方簡單而成品的理化性能好,由于采用金屬模具,效率極高,且模具磨損小,使用壽命長,與干壓工藝相比能使產(chǎn)量增加10倍左右,成型合格率提高5%左右,同類產(chǎn)品的價格與干壓產(chǎn)品相比,可降低20%左右。
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