本實用新型屬于
復(fù)合材料制造設(shè)備領(lǐng)域,涉及對化學(xué)氣相共沉積與滲透設(shè)備使用的尾氣處理裝置的改進(jìn)。本實用新型的特征在于,通過管路依次將水冷過濾器、冷凍過濾器、復(fù)合過濾器、
真空泵、堿液過濾器和放空燃燒結(jié)構(gòu)串聯(lián)為四級尾氣處理裝置,本實用新型結(jié)構(gòu)簡單;操作方便;尾氣處理能力強(qiáng);可同時或單獨對化學(xué)氣相沉積與滲透工藝的尾氣煤焦油和氯化氫進(jìn)行處理。
聲明:
“化學(xué)氣相共沉積與滲透尾氣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)