本實用新型屬于
復(fù)合材料技術(shù),涉及對化學氣相共沉積與滲透裝置使用的先驅(qū)體自動供給裝置的改進。它包括碳先驅(qū)體供給部分、惰性氣體供給部分、陶瓷先驅(qū)體自動供給部分和可編程序控制器4,其特征在于,有一個總先驅(qū)體混合罐15,它的內(nèi)腔通過管路分別與陶瓷先驅(qū)體混合罐13和碳先驅(qū)體混合罐14的內(nèi)腔連通,并且通過管路16與化學氣相共沉積與滲透裝置連接。本實用新型可以同時進行碳和陶瓷的沉積與滲透。
聲明:
“化學氣相共沉積與滲透先驅(qū)體自動供給裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)