本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種三維真空運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及其應(yīng)用，涉及機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)領(lǐng)域。該三維真空運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包括：設(shè)置于真空腔內(nèi)的運(yùn)動(dòng)組件和設(shè)置于真空腔外的驅(qū)動(dòng)組件；驅(qū)動(dòng)組件包括真空動(dòng)密封件、直線軸承、電動(dòng)缸和電機(jī)，電動(dòng)缸與電機(jī)連接，真空動(dòng)密封件的兩端分別與電動(dòng)缸的推力桿和直線軸承連接；運(yùn)動(dòng)組件包括相互連接的X軸運(yùn)動(dòng)裝置和Y軸運(yùn)動(dòng)裝置以及與X軸運(yùn)動(dòng)裝置或Y軸運(yùn)動(dòng)裝置連接的Z軸運(yùn)動(dòng)裝置；驅(qū)動(dòng)組件為三個(gè)且分別用于驅(qū)動(dòng)X軸運(yùn)動(dòng)裝置、Y軸運(yùn)動(dòng)裝置和Z軸運(yùn)動(dòng)裝置。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)大載荷、高速度、高精度的三維運(yùn)動(dòng)，且在高溫、高真空、長(zhǎng)時(shí)間下服役下穩(wěn)定運(yùn)行。其可廣泛應(yīng)用于3D打印設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備或真空冶金設(shè)備中。