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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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電子束高效、連續(xù)熔煉提純多晶硅的設備

1168 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 14:54:02

本實用新型屬于用物理冶金技術提純多晶硅領域。一種電子束高效、連續(xù)熔煉提純多晶硅的設備,加料真空閘室安裝與真空室相連通,出料真空閘室與真空室相連通,收集室與出料真空閘室相連通;加料真空閘室頂部帶有裝粉蓋,裝粉蓋下部安裝上裝粉桶,上裝粉桶出粉口對應落粉真空室門,落粉真空閥門連通下裝粉桶,下裝粉桶出料口下方放置硅塊,硅塊放置在坩堝中,坩堝出料口與傾斜銅槽上端連通,傾斜銅槽底端連通收集筒,收集筒底部出口對應落料真空閥門,落料真空閥門連通出料真空閘室,出料真空閥室內裝有冷卻筒,冷卻筒出料口連通收集室;真空室上方的電子束流對準硅錠。本實用新型結構簡單,采取連續(xù)加料和連續(xù)出料的熔煉方式,能耗小,成本低。

聲明：

“電子束高效、連續(xù)熔煉提純多晶硅的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)