本實(shí)用新型涉及一種用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置,其包括化學(xué)處理槽和化學(xué)品供應(yīng)罐,所述化學(xué)處理槽和所述化學(xué)品供應(yīng)罐通過(guò)管道連接,所述化學(xué)處理槽包括內(nèi)槽和外槽,所述化學(xué)處理槽底部設(shè)置有加熱器,所述化學(xué)處理槽側(cè)面底部圍繞有導(dǎo)管,所述導(dǎo)管與冷卻水供應(yīng)罐連接。通過(guò)在常規(guī)制絨裝置之前增加預(yù)處理裝置,對(duì)于雜質(zhì)含量高,表面狀況復(fù)雜的冶金級(jí)硅片,獲得的絨面效果均勻,清晰。同時(shí),通過(guò)在化學(xué)處理內(nèi)槽上連接一外槽,使得化學(xué)處理內(nèi)槽中的腐蝕液溢出到外槽,避免了由此造成的污染,通過(guò)循環(huán)管路使外槽中的溢出液體回到內(nèi)槽中,由此提高了腐蝕液的利用率,減小了腐蝕液的浪費(fèi)。
聲明:
“用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)