本發(fā)明公開了一種異質(zhì)pn結(jié)型日盲紫外探測器，其結(jié)構(gòu)自上而下依次由 頂電極，鋅鈹鎂氧薄膜，p-Si襯底和底電極疊置而成。鋅鈹鎂氧薄膜作為光 電響應(yīng)材料，其分子式為Zn1-x-yBexMgyO，式中x、y為摩爾分數(shù)，且0＜x＜1， 0＜y＜1，0＜x+y＜1?？稍诒３謫我涣嚼w鋅礦結(jié)構(gòu)的前提下，通過調(diào)節(jié)薄膜中 Be和Mg的含量控制探測器工作波段至日盲區(qū)(220～280nm)。鋅鈹鎂氧薄 膜與p-Si形成異質(zhì)pn結(jié)結(jié)構(gòu)，入射光產(chǎn)生的電子-空穴對可在內(nèi)建電場作用 下分開，導(dǎo)致載流子漂移出耗盡層形成外部電路電流。本發(fā)明的優(yōu)點在于不 受太陽光背景干擾，成本低，無需外加工作電壓，結(jié)構(gòu)簡單且易于與Si集成， 在環(huán)境保護、紫外通訊、生物醫(yī)學(xué)研究以及天文學(xué)等領(lǐng)域具有重 要應(yīng)用前景。