本實(shí)用新型提供了一種用于測量液體粘度的MEMS
芯片,所述MEMS芯片包括襯底,該襯底上設(shè)有儲液池、位于該儲液池上方的懸臂梁、設(shè)置在該儲液池一側(cè)的液體流道以及與液體流道相連通的滴液口,其中,在該懸臂梁上設(shè)有用于靜電驅(qū)動的第一驅(qū)動電極;所述襯底上還設(shè)有與所述第一驅(qū)動電極對應(yīng)的第二驅(qū)動電極;所述儲液池用于收容待測量液體;所述懸臂梁用于測量該液體的粘度變化。本實(shí)用新型的MEMS芯片結(jié)構(gòu)更加簡單,生產(chǎn)成本更低,生產(chǎn)效率更高,并且可廣泛應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、石油、化工、冶金、國防等技術(shù)領(lǐng)域。另外,采用本實(shí)用新型的MEMS芯片能夠檢測精度,與IC兼容性更高,更適合個(gè)人化與家庭化的使用。
聲明:
“用于測量液體粘度的MEMS芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)