本實(shí)用新型涉及高真空油擴(kuò)散泵,具體地說(shuō)是一種五級(jí)金屬直腔型高真空 油擴(kuò)散泵。它包括泵體,設(shè)置在泵體內(nèi)泵芯、油室和噴射嘴,位于泵體外面、 底部的加熱器;泵體為直容腔;泵芯包括一級(jí)導(dǎo)流管及其一級(jí)噴嘴、二級(jí)導(dǎo)流 管及其二級(jí)噴嘴、三級(jí)導(dǎo)流管及其三級(jí)噴嘴、四級(jí)導(dǎo)流管及其四級(jí)噴嘴,二級(jí) 導(dǎo)流管、三級(jí)導(dǎo)流管和四級(jí)導(dǎo)流管與油室連接,一級(jí)導(dǎo)流管裝在二級(jí)導(dǎo)流管的 上面;二級(jí)噴嘴、三級(jí)噴嘴和四級(jí)噴嘴的間隙為固定間隙。它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制作 容易,顯著提高高真空油擴(kuò)散泵的抽氣速率、拓寬抽氣范圍,氣密性高,焊接 變形小,提高工作效率;能獲得10-2~10-6Pa高真空和超高真空環(huán)境。廣泛用于 航空航天、原子能、真空冶金、熱處理、鍍膜、化工等領(lǐng)域。
聲明:
“五級(jí)金屬直腔型高真空油擴(kuò)散泵” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)