本發(fā)明公開了一種超聲波噴霧微波管式爐及運用,屬于噴霧熱解法制備氧化物薄膜與
粉末冶金領域。本發(fā)明所述的是一種超聲波噴霧微波管式爐加熱聯(lián)合制備ITO薄膜與粉體的方法,其特征在于利用超聲波將銦錫前驅(qū)體鹽溶液進行霧化,然后通過載氣將霧化液滴送人微波橫式加熱管式爐中進行閃速熱解反應,當霧滴接觸到高溫石英玻璃片時會形成的一層ITO薄膜。同時其他霧滴形成超細的、表面積大、分散性好、形貌好的ITO粉體。本發(fā)明工藝過程操作簡單,成本低廉,合理的利用物料,與傳統(tǒng)法噴霧法在高溫玻璃片寸底相比減少了物料的浪費。創(chuàng)造了通過超聲波噴霧熱解法與微波管式加熱爐聯(lián)合同時制備ITO薄膜與粉體的可能。
聲明:
“超聲波噴霧微波管式爐及運用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)