本發(fā)明的實施例提供了一種三維真空運動系統(tǒng)及其應(yīng)用,涉及機械運動平臺設(shè)計領(lǐng)域。該三維真空運動系統(tǒng)包括:設(shè)置于真空腔內(nèi)的運動組件和設(shè)置于真空腔外的驅(qū)動組件;驅(qū)動組件包括真空動密封件、直線軸承、電動缸和電機,電動缸與電機連接,真空動密封件的兩端分別與電動缸的推力桿和直線軸承連接;運動組件包括相互連接的X軸運動裝置和Y軸運動裝置以及與X軸運動裝置或Y軸運動裝置連接的Z軸運動裝置;驅(qū)動組件為三個且分別用于驅(qū)動X軸運動裝置、Y軸運動裝置和Z軸運動裝置。該系統(tǒng)可實現(xiàn)大載荷、高速度、高精度的三維運動,且在高溫、高真空、長時間下服役下穩(wěn)定運行。其可廣泛應(yīng)用于3D打印設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備或真空冶金設(shè)備中。
聲明:
“三維真空運動系統(tǒng)及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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