本發(fā)明涉及一種功率器件結(jié)終端結(jié)構(gòu)與制造方法。所述功率器件結(jié)終端結(jié)構(gòu)包括:場(chǎng)限環(huán),其間隔設(shè)置于最外側(cè)主結(jié)的外側(cè);電荷補(bǔ)償區(qū),其通過(guò)摻雜間隔形成于外延層,所述電荷補(bǔ)償區(qū)貫穿所述最外側(cè)主結(jié)的靠外側(cè)的冶金結(jié)面和所述場(chǎng)限環(huán)的靠外側(cè)的冶金結(jié)面,其中所述電荷補(bǔ)償區(qū)的導(dǎo)電類型與所述場(chǎng)限環(huán)的導(dǎo)電類型相同。這種功率器件結(jié)終端結(jié)構(gòu)耐壓能力好、可靠性高。
聲明:
“功率器件結(jié)終端結(jié)構(gòu)與制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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