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多晶硅熔煉的復(fù)合式加熱方法及裝置

946   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:46:01
本發(fā)明一種多晶硅熔煉的復(fù)合式加熱方法及裝置屬于用物理冶金技術(shù)提純多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種利用感應(yīng)線圈和石墨加熱器復(fù)合加熱的方式熔煉多晶硅的方法及裝置。本方法同時(shí)采用感應(yīng)加熱和輻射加熱兩種方式對(duì)加熱區(qū)進(jìn)行復(fù)合式加熱,使硅料熔化并進(jìn)行熔煉,通過(guò)拉錠裝置的運(yùn)動(dòng)使熔體脫離加熱區(qū),實(shí)現(xiàn)定向凝固。該裝置由真空蓋、真空?qǐng)A桶構(gòu)成裝置的外殼,真空?qǐng)A桶的內(nèi)腔即為真空室,真空室內(nèi)裝有進(jìn)行感應(yīng)加熱的感應(yīng)線圈和進(jìn)行輻射加熱的石墨加熱器。本發(fā)明有效地利用了感應(yīng)加熱的高效性和輻射加熱的穩(wěn)定性,保證了熔煉過(guò)程的穩(wěn)定,減小了能耗,提高了加熱效率,且該方法簡(jiǎn)單易行,適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
聲明:
“多晶硅熔煉的復(fù)合式加熱方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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