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去除多晶硅中磷和硼的裝置

924 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 14:35:27

本實用新型公開了一種去除多晶硅中磷和硼的裝置，包括真空室以及設于真空室內的石墨坩堝，所述石墨坩堝內部安裝有旋轉通氣機構，所述旋轉通氣機構由豎直設置作為轉軸的進氣管以及若干同心布置的環(huán)形管組成，所述進氣管通過環(huán)形管的中心，并與所有的環(huán)形管交叉連通，每根環(huán)形管的管壁均開設有出氣孔。本實用新型旋轉通氣機構由多個環(huán)形管和進氣管組成，環(huán)形管為豎直設置，在轉動過程中，可以讓氣體及時分布于石墨坩堝的各個位置，讓硼盡快形成熔渣去除，從而減少氣體用量，降低成本。

聲明：

“去除多晶硅中磷和硼的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)