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高純多晶硅的提純系統(tǒng)及提純方法

734   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:34:59
本發(fā)明公開了一種高純多晶硅的提純系統(tǒng)及用該系統(tǒng)制備高純多晶硅的方法,該系統(tǒng)包括:置于密閉腔體中的硅料熔化裝置、電遷移裝置和定向凝固裝置。硅料熔化裝置和電遷移裝置通過第一溢流管連接,電遷移裝置和定向凝固裝置通過第二溢流管連接。該方法的特征是對(duì)熔融硅液施加一個(gè)垂直于硅液流動(dòng)方向的水平直流電場(chǎng),在電場(chǎng)作用下,硅液中陽離子雜質(zhì)和陰離子雜質(zhì)分別向陰極和陽極方向遷移,并在兩側(cè)電極區(qū)域聚集,利用分流擋板使高雜質(zhì)濃度硅液和高純硅液分開,并將高純硅液進(jìn)行定向凝固鑄錠,最終獲得高純多晶硅錠。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是可以實(shí)現(xiàn)高純硅的大規(guī)模連續(xù)提純生產(chǎn),具有提純效果好、設(shè)備簡(jiǎn)單、投資少、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“高純多晶硅的提純系統(tǒng)及提純方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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