亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 火法冶金技術(shù)

> 磁控濺射法制備TiCoSb半導(dǎo)體薄膜

磁控濺射法制備TiCoSb半導(dǎo)體薄膜

752   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:33:13
本發(fā)明公開了磁控濺射法制備TiCoSb半導(dǎo)體薄膜,涉及無機化合物功能薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域及磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域。其特征在于是通過一種特殊設(shè)計的復(fù)合靶材,利用普通磁控濺射及后退火處理得到成分分布均勻的、符合化學(xué)計量比的多元素化合物TiCoSb薄膜。其主要工藝參數(shù)為:濺射功率20W,工作氣壓0.7Pa,濺射時間60-120min,快速退火時間1-5min,常規(guī)退火時間30-120min。本發(fā)明實現(xiàn)了TiCoSb材料的薄膜化,為對其熱電和光電性能的進一步研究及對其在薄膜熱電、光電器件領(lǐng)域的應(yīng)用有相當(dāng)積極的作用。
聲明:
“磁控濺射法制備TiCoSb半導(dǎo)體薄膜” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
火法冶金
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記