本實用新型屬于
半導體材料制備領域,具體涉及一種用于
太陽能電池的高純
多晶硅提純裝置,包括:熔煉造渣裝置、階梯除磷裝置、分步氧化裝置和精煉凝固裝置。本實用新型將硅液經造渣除雜后,進入階梯除磷裝置,當硅液從硅液流槽口流出時,用電子槍的高能電子束轟擊從槽口流出的硅液,從而快速的除去硅液中的磷雜質。在分步氧化裝置內用不同的精練氣體分步作用,除去硅液中的雜質硼、碳、金屬等雜質,再通過脫氣精練、定向凝固后,切除硅錠的高雜質部分,得到高純度的太陽能級多晶硅產品,實現高純多晶硅的連續(xù)工業(yè)化生產。
聲明:
“用于太陽能電池的高純多晶硅提純裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)