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高純多晶硅的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝備

1154   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:32:47
本發(fā)明涉及一種高純多晶硅的生產(chǎn)方法以及利用該生產(chǎn)方法生產(chǎn)高純多晶硅的生產(chǎn)裝備,其中所述的生產(chǎn)方法包括如下步驟:硅料準(zhǔn)備、熔煉包裝料、硅料熔煉、除渣、熔融硅精煉、硅液擋渣澆鑄、硅液真空脫氣與定向凝固、硅錠出爐和去皮切割,其中,所述硅料準(zhǔn)備步驟中所使用的硅料為冶金級還原硅,在所述硅料熔煉步驟中采用的加熱方式包括化學(xué)燃燒加熱。所述生產(chǎn)裝備包括至少三個以上相同的用于熔煉包或精煉包的包結(jié)構(gòu),其中一個包用于熔煉操作中,一個包用于精煉操作中,一個包用于修補、預(yù)熱或裝料操作中。采用本發(fā)明的生產(chǎn)方法和裝備,可以大規(guī)模、低成本地生產(chǎn)高純多晶硅。
聲明:
“高純多晶硅的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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