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多晶硅連續(xù)化介質(zhì)熔煉方法

1135   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:32:44
本發(fā)明屬于多晶硅提純領(lǐng)域,具體涉及一種多晶硅連續(xù)化介質(zhì)熔煉方法,按照以下步驟進行:將硅料和渣劑在中頻感應(yīng)加熱爐中熔化,從而進行第一次介質(zhì)熔煉,熔煉結(jié)束后,將中頻感應(yīng)加熱爐中的上層舊渣倒入耐熱鑄鐵模具中,將硅液倒入到電阻爐中,加入渣劑再次進行介質(zhì)熔煉,最后將電阻爐中的上層舊渣倒入先前的耐熱鑄鐵模具中,硅液倒入另一空置的耐熱鑄鐵模具中冷卻凝固即可。本發(fā)明的優(yōu)點在于:(1)提高生產(chǎn)效率20~30%,節(jié)省電耗1000~2000度/噸;(2)利用電阻爐代替部分中頻爐,減少中頻設(shè)備數(shù)量;(3)電阻爐中用碳化硅坩堝代替石墨坩堝,避免石墨燒損帶來的損耗;(4)B雜質(zhì)含量小于0.3ppmw。
聲明:
“多晶硅連續(xù)化介質(zhì)熔煉方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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