本實用新型屬于用物理冶金技術提純
多晶硅領域。一種雙開拉板式散熱的感應熔煉多晶硅鑄錠爐,感應線圈的內部安裝上保溫套筒,上保溫套筒的上面安裝保溫套蓋,保溫套蓋通過保溫蓋連桿連接到爐蓋上,保溫套筒的里面安裝石墨套筒,保溫套筒和石墨套筒共同固定在支架上,爐底部分水冷銅托盤通過底座支架連接在爐底蓋上,石墨支架直接支撐在水冷銅托盤上,石墨支架上支撐安裝石墨托盤,石墨托盤上面是
石墨坩堝,石墨坩堝里套裝石英坩堝,水冷銅托盤與石墨托盤之間有下保溫套筒,下保溫套筒上安裝有上隔熱板和下隔熱板,隔熱板采用塊可分別四個方向拉動的隔熱板。本實用新型使用雙開拉板的散熱方式,精確控制能量轉移,增加能量的利用率,降低成本。
聲明:
“雙開拉板式散熱的感應熔煉多晶硅鑄錠爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)