快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV
型號:RTP-1000-F3LV
產(chǎn)地:廣東
產(chǎn)品介紹
快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、
太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá)3″ )的退火而設(shè)計,配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱,最快升溫速度可達(dá) 100℃/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。
產(chǎn)品型號
快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV
安裝條件
本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要。
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源
4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要
主要特點
1、雙層Al2O3纖維鋼構(gòu),無需水冷或風(fēng)冷。
2、內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫
氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。
3、PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱保護和斷偶功能。
4、已通過CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
1、電源:單相208V-240V AC 50/60Hz 9KW
2、石英管:外徑?110mm,內(nèi)徑?103mm,長380mm
3、加熱元件:紅外燈管,直徑?10mm,長300mm
4、加熱區(qū):300mm
5、工作溫度:最高溫度1100℃
6、控溫精度:±0.5℃
7、最高升溫速度:RT-800℃時為50℃/s,800℃-1000℃時為10℃/s
8、溫控儀:可控硅(SCR)PID自動控制
9、真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷,循環(huán)水流量為0.5m3/hr
10、真空度:10-3torr
11、流量計:3個,量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm
重量:爐體45kg,真空混氣系統(tǒng)30kg
可選配件
防腐型數(shù)字式真空顯示計