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快速升溫CVD系統(tǒng)

快速升溫CVD系統(tǒng)

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規(guī)格/型號:RTP-1000-F3LV
品牌:科晶智達(dá)
應(yīng)用領(lǐng)域:冶金
產(chǎn)地:廣東 - 深圳
廠家/供應(yīng)商:廣東科晶智達(dá)科技有限公司
咨詢電話::無(請說明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”)
更新時間:2025-01-26
級別:待認(rèn)證

快速升溫CVD系統(tǒng)說明介紹

快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV


型號:RTP-1000-F3LV

產(chǎn)地:廣東

產(chǎn)品介紹

快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá)3″ )的退火而設(shè)計,配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱,最快升溫速度可達(dá) 100℃/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

產(chǎn)品型號

快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

安裝條件
本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要。

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

1、雙層Al2O3纖維鋼構(gòu),無需水冷或風(fēng)冷。

2、內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3、PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱保護和斷偶功能。

4、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:單相208V-240V AC 50/60Hz 9KW

2、石英管:外徑?110mm,內(nèi)徑?103mm,長380mm

3、加熱元件:紅外燈管,直徑?10mm,長300mm

4、加熱區(qū):300mm

5、工作溫度:最高溫度1100℃

6、控溫精度:±0.5℃

7、最高升溫速度:RT-800℃時為50℃/s,800℃-1000℃時為10℃/s

8、溫控儀:可控硅(SCR)PID自動控制

9、真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷,循環(huán)水流量為0.5m3/hr

10、真空度:10-3torr

11、流量計:3個,量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

重量:爐體45kg,真空混氣系統(tǒng)30kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計
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