本發(fā)明屬于一種微流道器件,具體涉及一種集成溫度傳感器的微流道散熱器。包括微流道盒體、鍵合層、微流道蓋體、冷卻液入口、冷卻液出口、微流道溝槽和溫度傳感器。本發(fā)明實現(xiàn)溫度傳感器在微流道散熱器內(nèi)部一體化集成,集成的溫度傳感器位置布放靈活,實現(xiàn)多點位、高空間分辨率的實時監(jiān)測,以提高微流道散熱器可靠性,進而優(yōu)化設(shè)計散熱器;與外接溫度傳感器相比,該方案獲得的溫度受環(huán)境影響小,結(jié)果更能精準的反映流道內(nèi)部狀況,提高了微流道散熱器整體可靠性。還采用鍵合層隔開冷卻液與溫度傳感器的直接接觸,使得溫度傳感器不會被冷卻液直接接觸影響,導(dǎo)致溫度傳感器的穩(wěn)定性和精確性降低,甚至于溫度傳感器短路失效。
聲明:
“集成溫度傳感器的微流道散熱器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)