本實(shí)用新型提供一種樣品研磨輔助裝置,包括:襯底、依次疊加形成于所述襯底上表面的若干層薄膜;及用于容置研磨樣品的通槽,所述通槽貫穿所述襯底及所有所述薄膜。該輔助裝置適用于28?nm及以下先進(jìn)制程的產(chǎn)品失效分析,將要研磨的樣品粘貼在通槽中,使得樣品表面與輔助裝置表面在同一水平面上,在研磨過(guò)程中,通過(guò)光學(xué)顯微鏡觀察輔助裝置上的圖案就可以準(zhǔn)確地判斷研磨到了哪一層,大大節(jié)約了反復(fù)去電子顯微鏡確認(rèn)的時(shí)間,也避免了電子顯微鏡反復(fù)照射對(duì)樣品造成的傷害。同時(shí),由于樣品放置在輔助裝置的中央,通過(guò)觀察輔助裝置前后左右四個(gè)方向所在的層就可以判斷研磨的平整性,從而及時(shí)調(diào)整研磨的力度,保證樣品大范圍的平整性。
聲明:
“樣品研磨輔助裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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