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磁控濺射用鈣鈦礦型鐵酸釤靶材的制備方法

857   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:28:29
本發(fā)明涉及材料生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種磁控濺射用鈣鈦礦型鐵酸釤靶材的制備方法;本發(fā)明在球磨過(guò)程中粘合劑的使用能有效地減小壓片過(guò)程中所得壓片出現(xiàn)開(kāi)裂的幾率,保證了所得壓片的品質(zhì);再者,本發(fā)明中通過(guò)滾動(dòng)造粒方式進(jìn)行造粒,能有效地增強(qiáng)混合粉體的流動(dòng)性,便于后續(xù)將混分粉體均勻且充實(shí)地填充在磨具中,從而有效地提高了靶材素坯的成型密度;另外,在造粒過(guò)程中,將混合粉體至于微波馬弗爐中能對(duì)混合粉體進(jìn)行充分的加熱,有效地提高了脫膠的效率及效果,也消除了粘接劑對(duì)所制備的靶材質(zhì)量及性能的影響;采用本發(fā)明制備的鈣鈦礦型鐵酸釤靶材不僅致密度十分地優(yōu)異,而且其還具有優(yōu)良的抗彎強(qiáng)度。
聲明:
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