本發(fā)明涉及MEMS傳感器,具體是一種基于RTS的MEMS面內(nèi)高g加速度傳感器。解決了現(xiàn)有MEMS高g加速度傳感器結(jié)構(gòu)不易實(shí)現(xiàn)水平向加速度測(cè)量、檢測(cè)結(jié)果易受溫度影響等問題,包括硅基框架、質(zhì)量塊,質(zhì)量塊兩側(cè)分別通過獨(dú)立支撐梁、兩組合梁與硅基框架固定,獨(dú)立支撐梁沿質(zhì)量塊中心線設(shè)置,兩組合梁以質(zhì)量塊中心線為對(duì)稱軸對(duì)稱設(shè)置;組合梁含檢測(cè)梁、兩連接梁,檢測(cè)梁上設(shè)有應(yīng)變壓敏元件,檢測(cè)梁的厚度及寬度小于連接梁;獨(dú)立支撐梁、質(zhì)量塊、組合梁中的連接梁為等厚設(shè)置。結(jié)構(gòu)合理、簡單,能實(shí)現(xiàn)水平向加速度測(cè)量,加工工藝簡單,受環(huán)境溫度影響較小,在高溫環(huán)境下不易失效,易于實(shí)現(xiàn)三軸集成,適用于測(cè)量高g值的沖擊加速度。