本發(fā)明提出一種改善原子力納米探針導(dǎo)電性的方法,包括在導(dǎo)電物質(zhì)上接觸有至少一根或多根被氧化的原子力納米探針;依次將每根被氧化的原子力納米探針和導(dǎo)電物質(zhì)間施加電壓差,將被氧化的原子力納米探針的部分氧化物擊穿;重復(fù)前一步,直至改善原子力納米探針的導(dǎo)電性。本發(fā)明還提出一種改善原子力納米探針導(dǎo)電性的方法,包括在導(dǎo)電物質(zhì)上接觸有至少兩根被氧化的原子力納米探針;依次將一根被氧化的原子力納米探針和剩余的每根被氧化的原子力納米探針間施加電壓差,將被氧化的原子力納米探針的部分氧化物擊穿;重復(fù)前一步,直至改善原子力納米探針的導(dǎo)電性,用以保證進(jìn)行失效分析時(shí)樣品測(cè)試的準(zhǔn)確性,以及延長(zhǎng)原子力納米探針的使用壽命。
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“改善原子力納米探針導(dǎo)電性的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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