本發(fā)明涉及一種晶圓測(cè)試參數(shù)設(shè)置方法,不需要人工設(shè)置探針臺(tái)配置文件。同一產(chǎn)品,得到客戶提供的批號(hào)、片號(hào)、相應(yīng)目標(biāo)坐標(biāo)信息和管芯參數(shù)要求后,探針臺(tái)取得當(dāng)前機(jī)臺(tái)內(nèi)的晶圓相應(yīng)批號(hào)、片號(hào)和坐標(biāo)信息,測(cè)試機(jī)按照輸入信息參照目標(biāo)坐標(biāo)進(jìn)行相應(yīng)管芯的自動(dòng)測(cè)試掃描,并對(duì)失效管芯進(jìn)行周圍位置管芯補(bǔ)測(cè),自動(dòng)測(cè)試的同時(shí)對(duì)失效進(jìn)行驗(yàn)證和數(shù)據(jù)補(bǔ)充。保證測(cè)試數(shù)據(jù)的正確性,測(cè)試靈活并且適應(yīng)各種客戶要求,避免人工設(shè)定造成的誤操作,有效地提高測(cè)試效率和質(zhì)量。
聲明:
“晶圓測(cè)試參數(shù)設(shè)置方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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