一種避免氧化爐管二氯乙烯失效的方法和裝置,用于確保熱氧化生長過程中二氯乙烯通過N2的攜帶方式正常通入所述氧化爐管內(nèi),對于每個含有二氯乙烯的工藝制程,采集其二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù),如所述二氯乙烯重量減少的數(shù)據(jù)在正常值范圍內(nèi),則說明每次都有足夠量的二氯乙烯通進(jìn)所述氧化爐管內(nèi)。本發(fā)明通過直接監(jiān)測DCE的重量是否減少來確保DCE送入氧化爐管內(nèi),消除了傳統(tǒng)技術(shù)中通過監(jiān)測N2的流量而間接地監(jiān)測DCE是否送入氧化爐管所隱藏的不確定因素,保證了DCE能夠有效去除SiO2生長過程的雜質(zhì)離子,確保了SiO2的薄膜質(zhì)量。
聲明:
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