本發(fā)明公開了一種在晶圓上快速選取失效晶粒的薄膜及使用方法,該薄膜是由絕緣材料制成的具有透明性質(zhì)的薄膜,其中,該薄膜上標(biāo)示有坐標(biāo)系,該坐標(biāo)系與晶圓上的測試坐標(biāo)系對應(yīng)。該薄膜的使用方法,包括步驟:1)根據(jù)晶圓上測試出的失效晶粒坐標(biāo),在薄膜上的相應(yīng)坐標(biāo)處標(biāo)注記號;2)利用薄膜上存在的坐標(biāo)系和對準(zhǔn)標(biāo)記,與晶圓對準(zhǔn)后,將薄膜貼在晶圓上;3)揭去薄膜后,薄膜上的相應(yīng)坐標(biāo)處的記號就轉(zhuǎn)移到了晶圓上。利用本發(fā)明可以準(zhǔn)確、省時地在晶圓上找到失效晶粒,給選取失效晶粒工作帶來極大便利。
聲明:
“在晶圓上快速選取失效晶粒的薄膜及使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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